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XL-80 鐳射干涉儀為線紋尺量測系統提供精準可靠的位置補償

而干涉儀在架設方面採用了典型的線性測量配置，如下圖雷射光束透過分光鏡S 分成兩路，一路形成參考光束經轉向鏡T 及反射鏡R 回到鐳射源探測器，另一路則透過T1，T2，T3 ...

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