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薄膜電晶體液晶顯示器銅製程良率提升之研究

針對第一層金屬異常銅晶粒缺陷的改善，分別在玻璃基板上沉積不同的金屬材料和結構如下，CuOCu1Cu2、Cu、MoCuMo、MoCu MoCu1Cu2，找出改善缺陷之最佳 ...

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