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絕緣層上矽分析及應用

... 頂層表面以及底部的矽元件（Base Silicon）之間嵌入一層絕緣材料，以生產出比傳 ... 氧化，產生一層氧化層，控制氧化環境溫度使氧化層和矽層介面為低缺陷低雜質。

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