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類鑽石(DLC)膜的基本介紹、應用及發展趨勢 - 大永真空設備

類鑽石(Diamond-like Carbon，DLC)是一種非晶形的碳材料，其諸多的材料性質類似於 ... 氫含量(氫原子終端基即為一種缺陷)愈少則薄膜硬度愈高，硬度範圍10~40 GPa。

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