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CTIMES- 加速導入二維材料突圍先進邏輯元件的開發瓶頸

藉此，沉積的厚度能以單原子層等級的高精準度在完整的12吋晶圓上進行控制。多項實驗結果顯示，950℃的高溫沉積對元件層的結晶度和缺陷有益。

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