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材料缺陷好處
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二維材料於半導體應用的現況及未來 - 電子時報
最早發現的二維材料石墨烯(graphene)雖然被多方探索,但在半導體領域的 ... 以及較少缺陷甚至要高達950度,所以用MOCVD長TMD薄膜只能用於前段製程。
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