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材料介電常數
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傳統的極薄二氧化矽介電層因量子穿遂效應而導致極大的直接穿遂漏電流,對整個元件產生了可靠度的問題。為了解決這嚴重的直接穿遂漏電流現象,本篇論文利用高介電常數材料( ...
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