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材料介電常數
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國立交通大學機構典藏:高介電常數材料氧化鋁之特性研究
相較於其他高介電係數材料,氧化鋁擁有較高的結晶溫度,適合應用在塹渠式的動態記憶體。 在我們的實驗過程中,我們先在矽基板上沉積氧化鋁的電容結構,探討氧化鋁沉積 ...
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