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熱探針法量測半導體摻雜濃度之探討

至於用來檢測半導體材料的主要載子濃度則多以霍爾電壓及半導體薄膜的厚度經公式算出其. 濃度，幾乎沒有濃度檢測是採用熱探針法。本文重新檢視量測的流程及相對應的 ...

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