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有機 化 實驗
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前瞻技術脈動:先進材料與技術(202308) - 科技產業資訊室
研究團隊為金屬有機化學氣相沉積製程設計了全新的熔爐,由低溫與高溫兩個腔室組成。除了產生更均勻的層外,這方法也比其他MOCVD製程快得多。
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