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黃光製程介紹 - Luenen

黃光工程師的工作是以光阻曝光產生固定的pattern後,接著利用蝕刻將其. 最密切的就是etch與implant. 1. ... 微影製程目的是將光罩上的TFT 圖案定義在玻璃基板上。

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