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發展下一世代環保微影光罩結構材料 - 9lib TW

7. 硬烤(Hard Bake) 硬烤的目的主要是使光阻硬化，以增加對後續蝕刻或離子植入等製程的抵擋能力，另一個目的則是消除光阻中的針孔，硬烤的溫度通常比軟烤溫度高，而和曝後 ...

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