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曝後烤目的
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(11)證書號數
產生酸性化學物質,並可與鹼性顯影劑產生酸鹼中和的化. 學反應。 |顯影(Development)之目的,係將基板表面經曝光之光. 阻層,以化學反應予以洗淨;光阻劑經曝光後,發生交聯.
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「曝後烤目的」
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