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ch13 微影：气相涂底至软烤 - 百度文库

硬烤顯影後的熱烘烤使剩餘的光阻溶劑揮發提升光阻對晶圓表面的附著力硬烤溫度約 ... 在晶圓製作中使用光阻的目的將光罩的圖案轉移至晶圓表面的頂層在後續製程中保護光 ...

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