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光阻材料在新世代顯示器的應用 - 技術論壇詳細頁

其反應基本原理為光酸產生劑在曝光區與供質子酸作用產生質子酸，在曝後烤的過程中， ... 產生斷鏈，使得曝光區和非曝光區於顯影液之溶解度不同而達到圖案轉移目的。

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