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去光阻原理

化學放大型光阻經過曝光後，所產生的質子酸(H +)需經曝後烤提供光酸催化以及擴散作用的活化能，因此曝後烤的溫度與時間，對於化學放大型光阻的感光度與解析度有重大的 ...

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