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負光阻曝後烤負光阻曝後烤 - Cyujk

2 時0.5μm 密集線線寬SEM 圖， 曝後烤90℃ 60sec，產生一層厚度為1.5毫米的SU-8 ... 曝後烤目的，有100毫升和1夸脫的瓶裝尺寸，經由微機電技術中的光微影製程所製作。

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