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EUV曝光機研發難在哪？ASML這樣說

極紫外光（EUV）為目前最先進的曝光機，可以製造7nm以下的製程，全球僅有荷蘭艾司摩爾（ASML）能夠生產，新一代EUV曝光機單價達4億美元。

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