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曝光機- 維基百科，自由的百科全書

在晶圓微影製程技術中，會將塗好光阻的晶圓藉由機械手臂傳送到曝光機中先進行對準而後曝光。 ... ASML EUV Twinscan曝光機造價更是落在3億美元以上。 ASML · 尼康 · 佳能 ...

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