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光刻機？曝光機？從製程特性聊怎麼稱呼更合理

在台灣，這道製程大多稱呼為曝光顯影，或稱為黃光製程，雖然兩邊用語不同，但我認為台灣的用法更為精準。 image *from ASML. 在半導體製程中，粗略可分為 ...

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