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一文詳解光掩模技術及其在中國的發展歷史與現狀

光掩膜有掩膜原版（reticle mask‚也有稱為中間掩膜‚reticle作為單位譯為光柵）‚用步進機重複將比例縮小到master mask上‚應用到實際曝光中的為工作掩 ...

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