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【製程設備】總覽與收費標準 - 清華大學

DLP 無光罩曝光機. 清華實驗室. 1F 無塵室 ... EVG620 單面曝光黃光微影製程. (EVG620) ... 請詳細註明鍍膜厚度及種類，並於代工申請表上繪畫Wafer 剖面圖。

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