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從頭了解光刻機 - YouTube

1970年代，GCA開發出第一台分布重複投影 曝光機 ，集成電路圖形線寬從1.5μm ... 隨著移相掩模技術的發展,湧現出眾多的 種類, 大體上可分為交替式移相掩膜 ...

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