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極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術 ...

微影製程即是：用一台微影設備（Lithography），也稱作曝光機，也可以算是一種掃描儀器，將光透過光罩（Mask或Reticle），並利用ASML微影設備的光學 ...

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