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微影製程 - 國立高雄科技大學第一校區

上光阻─通常以旋鍍機. > 預烤（軟烤） ─軟烤箱或熱墊 ... 常見之污染物種類. > 微塵. > 有機物、光阻劑 ... 利用曝光機移動晶圓，直至光罩上的對準記號與背面之記號.

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