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微型化步進式曝光系統- Lithographic Stepper System

提供曝光機光學設計、機構設計、精密光學元件製作與系統組裝量測等服務。 ... 開發，已可製鍍多種金屬、氧化物與氮化物薄膜，並掌握重要前驅物種類、.

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