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光學微影的新限制
由於層疊錯誤會受到光罩或晶圓所影響,因此量測步驟針對晶圓上的曝光區域以及不同區域分開進行。 ... 微影品質標準的一項重要用途就是定義解析度。
確定!
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「曝光機用途」
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