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曝光機用途
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AMOLED与LCD都需要的核心工艺设备曝光机 - 网易
反射镜投影曝光机则主要由Canon FX 采用。其TFT使用机器的解析度L/S 为3.5 um, 而CF用的机器则有4 um和6 um两种。
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