DLP 無光罩曝光機 ... 二、用途. 電子槍蒸鍍Al, Ti, Au, Pt, Ni, Cu, Cr 等金屬膜。 三、重要規格 ... 二、用途. 濺鍍沈積Al、AlN 於4" wafer。 三、重要規格.
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