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微影照像

2. 上光阻，旋轉使其均勻，並控制光阻厚度，烘烤除去光阻中的殘餘溶劑，此. 步驟稱為軟烘烤（soft bake）。 3. 曝光（exposure）用光罩對準儀（mask aligner）或步進照像機 ...

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