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真空科技- 高效能平行曝光機光源開發The Development of High ...
綜觀目前國外曝光機光源多為使用UV 高壓汞燈來當作投射燈源,另包含了一橢圓球面 ... 關鍵字:曝光機光源;橢圓球面鏡 ... 分器之用途,期望能夠提高光均匀度及光.
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