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曝光機用途
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以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用 - 儀科中心
最後會介紹一些筆. 者實驗室以改裝後的電子束曝光機所完成的一些電. 子元件及其功能。 二、電子束微影技術. 電子束微影(e-beam lithography) 技術是指利用.
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