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ASML光刻機工作原理是什麼? - 每日頭條
雷射器:也就是光源,光刻機核心設備之一。光束矯正器:矯正光束入射方向,讓雷射束儘量平行。能量控制器:控制最終照射到矽片上的能量,曝光不足或 ...
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