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《台灣半導體產業強勢崛起的背後》 ​眾所周知，半導體是現代 ...

該光刻機鏡頭是以等倍率透過逐步重複（步進式：step and repeat）的方式進行晶圓的曝光，除可應用於3D-IC 製程中的曝光設備外，所建立的技術亦可開發各種需要曝光投影製程 ...

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