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半導體解密:ASML光刻機憑什麼能一廠獨大?台積電總能買到 ...
可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機( ...
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