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台積電拚先進製程「EUV機台」數量贏了專家曝2025挑戰全球 ...

(台積電,先進製程, EUV機台,半導體) ... 光學能力，與符合預期的晶片良率，以減少曝光機光罩缺陷及製程堆疊誤差，並降低整體成本，2 奈米及更先進製程 ...

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