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曝光機台灣
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國立中興大學-光電半導體製程中心
本無塵室是由本校的光電所所有老師協力而成立的,在中台灣地區是唯一的大學有高規格的無塵室,並積極進行半導體研究及人才培育,並 ... l OAI (紅外線雙面對準曝光機).
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