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半導體曝光製程生態系及設備發展動態 - IEK產業情報網

圖2、半導體各類型曝光機單價趨勢，(上圖) EUV單價趨勢以及規格演進；(下圖) I-line、KrF、ArF、ArFi單價趨勢。 圖3、2020年~2025年全球半導體各類型曝光機台數目; 圖4、 ...

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