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曝光機原理
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半導體解密:ASML曝光機憑什麼能一廠獨大?台積電總 ... - T客邦
曝光機 的原理其實像幻燈機一樣簡單,就是把光透過帶電路圖的掩膜(Mask,後來也叫光罩)投影到塗有光敏膠的晶圓上。早期60年代的光刻掩膜版以1:1的尺寸緊 ...
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