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曝光機原理
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SU-8 光阻在矽晶圓基材上製作微流道面板之研究
光阻塗佈機. TSC-150M. 加熱板. HP 303D. 圖1 本校黃光室設備. 超音波震洗機. DC-300H. 曝光機. 貳、微影製程原理、製程規劃與實驗步驟.
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