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曝光機原理
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微影
原理. ➢在晶片上塗一層感光材料,使用光源的半聚合光,經. 過以玻璃為主體的光罩後,打在感光材料上。 ... 優點:以接觸式方式這種曝光機對晶片執行曝光時,光罩.
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