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摩爾定律的華麗謝幕：EUV微影機 - Digitimes

此機的概念是由中研院院士林本堅任職於台積電所提出的，原理上當光通過液體介質的時候，其速度會變慢，也就是波長會變短。因此若將被曝光的晶圓浸泡在 ...

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