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曝光機原理
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一文看懂光刻机| 半导体行业观察 - 知乎专栏
光刻的原理是在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性光刻胶,再用光线(一般 ... 使用化学显影液溶解由曝光造成的光刻胶可溶解区域, 使可见图形出现在硅 ...
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