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曝光機原理
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https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Doc/Publication/InstTdy/161/01610560.pdf
近接曝光於微光學元件開發與應用 - 台灣儀器科技研究中心
本文的重點是介紹以近接曝光之光刻微影術進行微光學元件製作開發,具體元件如微透鏡陣 ... NA 值受到很大的限制,故以光罩形狀轉移之原理.
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