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曝光機原理
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半導體產業不可或缺的曝光機,是「這些企業」的心血結晶!
從原理上看,曝光機的工作原理,就是讓光穿過光掩模,然後通過一系列透鏡將其縮小,最終落在覆蓋有曝光膠的基板上。由於光掩模,曝光膠的某些部分被光 ...
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