OAI Series 6000 生產型曝光機 · 0.5μ 精確正面對準 · 1μ 正反面對準 · 高產量:170 WPH in 1st Mask Mode · 均勻性優於±3% · 適用於各種規格的晶片 · 自動平衡補償 · 適用於超強 ...
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