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跨入16奈米世代一步到位 - 科學人雜誌

浸潤式微影術是以水取代空氣，讓曝光光源在照射到光阻前，必須穿透一層 ... 製作小線寬的元件，更重要的是，電子束是如同畫筆般，將記錄在曝光機裡的 ...

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