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IC 縮小術!林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小 - 研之有物
因為不管是什麼波長的光,遇到鏡面的入射角和反射角都是相等的,因此若能以一些反射鏡面取代透鏡,就可以增加對光波頻寬的容忍度。 上圖為波長193 奈米 ...
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