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曝光機光源
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L22 高速量產型光學曝光系統儀器簡介(248 Scanner Introduction)
電路圖形利用曝光機從光罩轉印到晶圓上. •. 解析度越好的曝光設備,能將越小線寬的電路轉印到晶圓 ... 248 nm 波長光源是由氟氪(KrF)準分子.
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