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193nm波長光刻機如何刻出28nm線寬晶片？ - 電子技術設計

光刻膠曝光後的溶解性依賴於曝光量，這大家都知道，但是這個依賴很不線性。 ... Illumination，讓光學系統的主光軸和照明方向不一樣，光源斜著打。

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